Cation diffusion in polycrystalline thin films of monoclinic HfO 2 deposited by atomic layer deposition

Müller, Michael Patrick (Corresponding author); Pingen, Katrin; Hardtdegen, Alexander; Aussen, Stephan; Kindsmueller, Andreas; Hoffmann-Eifert, Susanne; De Souza, Roger

Melville, NY : AIP Publ. (2020)
Fachzeitschriftenartikel

In: APL materials
Band: 8
Heft: 8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 081104